DOI:10.1016/j.orgel.2020.105759
本文提出了一種基于電紡聚酰亞胺(PI)納米纖維膜作為介電層的柔性電容式壓力傳感器,由于該裝置松散的結構,其靈敏度、檢測極限和響應速度等性能都得到了改善。測試了電紡PI納米纖維膜、商用PI帶和PDMS膜作為介電層的性能,并探索了不同厚度的PI納米纖維膜以優化介電層。具有這種介電層的傳感器表現出高靈敏度(在3.5-4.1 Pa時為2.204 kPa-1)、寬量程(0-1.388 MPa)、低檢測極限(3.5 Pa)和良好的循環穩定性(>10000次循環)。典型的4×4傳感器陣列不僅可以準確地檢測相應的力,而且可以通過監測元件的動態電容變化來識別力的滑動。
圖1.四針遠場靜電紡絲裝置的示意圖。
圖2.電容式壓力傳感器測試平臺。
圖3.(a)電容式壓力傳感器的結構圖。(b)在PI納米纖維膜、PDMS和PI帶分別作為介電層的情況下,電容變化與壓力之間的關系;(c)在不同厚度(53 μm,63μm,93μm,138μm和150μm)PI納米纖維膜作為介電層的情況下,電容變化與壓力之間的關系。
圖4.基于135 μm PI納米纖維膜介電層的電容式壓力傳感器陣列:(a)結構圖; (b)兩個隨機感應元件的常壓與電容變化之間的關系;(c)動態響應和恢復過程。
圖5.(a)在不同壓力(1.67 kPa-277.78 kPa)下電容陣列中感應元件的多重動態響應;(b)在0.83 kPa下進行1×104循環動態重復性測試。
圖6.(a)在不同小物體壓力下的傳感器陣列歸一化圖:粉色花朵勿忘我50.2 mg(13.9 Pa),小木棍24.0 mg(6.7 Pa),小麥胚芽17.5 mg(4.9 Pa),黃色小花14.7 mg(4.1 Pa)和干芽12.5 mg(3.5 Pa);(b)在壓力(4.1 Pa,6.7 Pa和13.9 Pa)下的動態響應圖。
圖7.不同按壓條件的圖片及其在兩個(a,b)、三個(c,f)和四個(e,f)感應元件上的響應。
圖8.在傳感器陣列上放置滴眼液瓶(a,b)、荔枝(c,d)和固體膠棒(e,f)的照片及其響應圖。
圖9.對應于傳感器陣列,在鐵半球上向負x軸方向(a,b),x與y軸之間的45°角(c,d),y軸正方向施加力的照片和電容變化圖(e,f)。